大流量塵埃粒子計數器的工作原理基于光散射效應,通過精密光學系統和電子信號處理實現對空氣中微粒的快速檢測與粒徑分析。其核心流程可分為以下環節:
一、光散射檢測機制
當空氣樣本以高流量(通常28.3L/min或更高)通過激光測量腔時,微粒與635nm波長激光束相遇產生散射光。散射光強度與微粒表面積呈正比,通過透鏡組聚焦至光電探測器(如光電倍增管)轉化為電脈沖信號。
二、信號處理與粒徑判定
電脈沖經放大器增強后,由甄別器按預設粒徑閾值(如0.3μm、0.5μm等通道)分類計數。脈沖幅度對應粒徑大小,脈沖數量反映微粒濃度,最終通過算法換算為單位體積(如立方米)的粒子分布數據。
三、大流量特性實現
氣路系統:采用高功率采樣泵和流量控制器,確保穩定氣流通過檢測腔,避免因流量波動導致計數誤差;
光學補償:通過溫濕度傳感器修正環境參數對光散射的影響,提升大流量下的檢測精度;
并行處理:多通道電子系統同步處理六檔粒徑數據,滿足ISO14644等標準對潔凈度的動態評估需求。
該技術廣泛應用于醫藥GMP車間、半導體生產線等需實時監控高潔凈度環境的場景,其大流量設計顯著提升了采樣效率與代表性。
